石定盤　ＴＧＷ社製　

1500x2000x250

ステージ　　700x700  駆動；安川リニアモーター

分解能；　16ｎｍ

ストローク　700ｘ700

 

オリンパス　干渉計　KIF-201
ニコン　測定顕微鏡　UM-2
nikon MM-11

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